真空機器
幅広いラインナップで多様な用途に対応可能な真空機器
アペックスは旧アルカテル・バキューム・テクノロジー社及びアディクセン ジャパン株式会社真空機器製品の国内における正規販売代理店として展開し、現在は、ファイファーバキューム社の日本における総代理店の伯東株式会社の代理店として、製品販売に加えて、お客様のニーズに対応し、長年の半導体製造装置生産技術を活かしたトータルコーディネイトのご提案もしております。
2010年12月 Adixen Vacuum ProductsはPfeiffer Vacuumの傘下となりました
真空機器 製品一覧
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スクロールポンプ HiScroll シリーズ
ドライポンプ(スクロール型) Hiscroll シリーズ オイルを使用しないドラ…
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ヘリウムリークディテクタ ASM310
フィールドサービス向け小型ヘリウムリークディテクタ 小型!軽量!高感度!ドライ!…
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ヘリウムリークディテクタ ASM390/392
モバイルドライハイパフォーマンス リークディテクタ ASM390/ASM392 …
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リークディテクタ ASM340 Series
様々なアプリケーションでヘリウムと水素を用いたクラス最高の安定性を誇るリークディ…
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真空ポンプ ACP Series2
小型空冷ドライポンプ 完全オイルフリーでクリーンな次世代コンパクトドライ真空ポン…
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真空ポンプ ACP120 Series
半導体用途以外の幅ひろいライトプロセス向け“ACP120シリーズ&#…
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高効率ドライ多段ルーツ式プロセスポンプA4シリーズ
半導体およびコーティング向け 半導体製造におけるハーシュプロセスは、常に真空ポン…
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ヘリウムリークディテクタASM306S
スニファ専用ヘリウムリークディテクタASM306S スニファ法専用ヘリウムリーク…
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A100L/A200L
ロードロック・トランスファーチャンバー用ドライポンプ 特長 製造装置の中、あるい…
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A103P
ミディアム・プロセス(エッチャー・イオン注入・PVDなど)向け省エネ型ドライポン…
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ターボ分子ポンプ HiPace® Series ターボ分子ポンプ排気ユニット
Pfeiffer社製 ターボ分子ポンプの特長 業界トップクラスの圧縮比、到達真空…
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ロータリーポンプ Pascal Series
長寿命運転で信頼性の高いロータリーポンプ 5~21m3/h(90~345l/mi…