A103P
真空機器
ミディアム・プロセス向け省エネ型ドライポンプ
A103Pは、ミディアム・プロセス（エッチャー、イオン注入、PVDなど）向けに設計された省エネ型ドライポンプです。PFEIFFER社の多段ルーツテクノロジーにより、高い信頼性をもつ低ノイズ・低ランニングコストのドライポンプを実現しました。従来のタイプに比べ最大50%の省エネ効果をもたらします。小型ボディで高信頼性、低ランニングコストを特長としています。
製品の特長
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低ランニングコストとコンパクトデザイン
省エネ設計による低ランニングコストと、コンパクトデザインによる設置スペースの削減・軽量化で、簡易設置を可能にします。
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高い信頼性
多段ルーツテクノロジーと温度制御およびパージ機能を搭載。ミディアム・プロセスにおいて高い信頼性を発揮します。
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半導体製造工場の要件に適合
耐腐食性と低ノイズ・低振動設計で要件に適合。また、CEおよびSEMI S2-0706に準拠しています。
用途
エッチング(酸化およびポリ)
ドライエッチング(RIE/Ashing)
ストリップ(除去・洗浄工程)
RTP
インプラ
ほか、半導体ミディアム・プロセスアプリケーションに対応
| 項目 | A103P |
|---|---|
| ピーク排気速度(50/60Hz) | 120m3/h 2000l/min |
| 到達真空(N2パージを除く) | 5×10-1Pa 3×10-3mbar |
| 到達真空(20 SLM N2パージ) | 2Pa 2.6×10-2mbar |
| 消費電力：到達真空 | 1kW |
| 消費電力：モーター定格 | 2.5kW |
| 電源 | 200～208V/380～480V、3相、50/60Hz |
| 冷却水接続 | 1/4 NPT クイックコネクト |
| 冷却水温度 | 10～25℃ |
| 冷却水流量 | 90l/h |
| N2パージ流量範囲 | 5～60SLM |
| 平均ノイズレベル | <58dBA |
| 外形寸法(長さ×幅×高さ) | 684×310×323mm |
| 重量 | 125kg |
| 吸気／排気口 | NW50/NW25ISO-K/KF |
