A103P
ミディアム・プロセス(エッチャー・イオン注入・PVDなど)向け省エネ型ドライポンプ 小型ボディ、高信頼性、低ランニングコスト
PFEIFFER社の多段ルーツテクノロジーが、高い信頼性をもつ低ノイズ・低ランニングコストのドライポンプを実現しました。従来のタイプに比べ最大50%の省エネ効果をもたらします。
特長
低ランニングコスト
- 省エネ設計による低ランニングコストの実現
設置スペースの削減、軽量、簡易設置
- コンパクトデザイン ミディアム
- プロセスにおいて高い信頼性を発揮
- 多段ルーツテクノロジー採用
- 温度制御およびパージ機能を搭載
- 耐腐食性
半導体製造工場の要件に適合
- 低ノイズ 低振動
- CE及びSemi S2-0706準拠
用途
以下をはじめとする半導体ミディアム・プロセスアプリケーションに対応
- エッチング(酸化およびポリ)
- ドライエッチング(RIE/Ashing)
- ストリップ(除去・洗浄工程)
- RTP
- インプラ
仕様
| 項目 | 単位 | A103P |
| ピーク排気速度 (50/60Hz) | m3/h | 120 |
| l/min | 2,000 | |
| 到達真空 (N2パージを除く) | Pa | 5×10-1 |
| mbar | 3×10-3 | |
| 到達真空 (20 SLM N2パージ) | Pa | 2 |
| mbar | 2.6×10-2 | |
| 消費電力：到達真空 | kW | 1.0 |
| 消費電力：モーター定格 | kW | 2.5 |
| 電源 | V | 200～208/380～480、3相、50/60Hz |
| 冷却水接続 | 1/4 NPT クイックコネクト | |
| 冷却水温度 | ℃ | 10～25 |
| 冷却水流量 | l/h | 90 |
| N2パージ流量範囲 | SLM | 5～60 |
| 平均ノイズレベル | dBA | <58 |
| 外形寸法(長さ×幅×高さ) | mm | 684×310×323 |
| 重量 | kg | 125 |
| 吸気／排気口 | ISO-K/KF | NW50/NW25 |