グローバルな視野と最先端技術でお客様の生産システムをサポート

自動制御機器開発・生産において、アペックスの高精度・高品質の装置技術は多くのお客様の支持を頂いてきました。 機械設計、電気設計、ソフトウェア設計、プロセス技術、フィールドサービスなど多岐にわたる技術力で要求にお応えします。 ユニット単位の設計から装置の量産、設置立ち上げや休眠装置のフルオーバーホールまで、まずはご相談ください。

ご提供業務内容（製造）

• 仕様のご相談（ニーズに対する総合コンサルタント可能）
• 部品/ユニット選定・部品調達・部品設計・製造
• 部品・ユニット
• 動作確認、検査
• 梱包・出荷
• 現地立ち上げ調整
• アフターサービス

製造・開発実績分野

• 半導体製造装置（OEM新規製造）
• 半導体製造装置（OEM中古リファビッシュ）
• マイクロ波アッシング
• エッチング装置
• プラズマCVD装置
• 常圧CVD装置
• 薄膜抵抗測定装置
• 真空アライメント装置
• 光学式アライメント装置
• CVD用薬液供給装置
• ブラシ圧制御ユニット
• 膜圧計
• 実験用硫化装置
• 微差圧計ユニット
• 半導体装置ガスエコユニット
• ウェーハ搬送ロボット
• メカ設計&ソフトウェア （コントローラ）
• 水素フラッシング装置
• ガラス溶着機

ご提供業務内容（フィールドサービス）

• 定期保守契約
• メンテナンス
• 修理
• 校正
• 改造
• 再生
• オーバーホール