ご提供サービス
設計から現地立ち上げ調整までお任せください。 新規装置の製作のみならず、ユニット単位での設計や既存装置のカスタマイズも承っております。
ご提供業務内容（製造）
仕様のご相談
お客様のニーズに対する総合コンサルタントが可能です。 設計からアフターサービスまでのトータルなご提供のみならず、「製造および検査確認のみ」など一部のみのご相談も承っております。
部品/ユニット選定・設計
決定した仕様に基づく部品選定及びユニット設計を弊社で行います。
部材調達
必要な部材を弊社で調達可能です。
製造
弊社製造拠点にて製造を行います。
動作確認、検査
仕様に基づき動作確認と検査を行います。
梱包・出荷
弊社手配にて梱包から発送まで行います。 クリーンルーム対応もお任せください。
現地立ち上げ調整
エンドユーザー先での立ち上げ調整対応可能です。
アフターサービス
サービス部門にてメンテナンス・サービスを承っております。
ご提供業務内容（フィールドサービス）
半導体需要の増加傾向が続く中、露光装置の安定稼働は重要課題となっています。 アペックスでは長期的に装置をお使いいただくためのパートナーとして、定期保守契約・メンテナンス・修理・校正・改造・再生・オーバーホール等、様々なニーズにお応えしております。 装置担当平均10年以上の経験豊かなサービスマンによるヒアリングからフィールドサービスまでのトータルサポートで、お客様の研究・開発・量産計画を支えます。
キヤノン製半導体露光装置（フォトリソグラフ装置）
- ミラー投影光学方式露光装置（MPA-500/600シリーズ）
- プロキシミティ露光装置（PLA-501/600シリーズ）
- 縮小投影型露光装置（FPA-1550/2000/2500/3000シリーズ）
