A100L/A200L ロードロック・トランスファーチャンバー用ドライポンプ
真空機器
クリーンルーム対応、高効率・高信頼のロードロック用ドライポンプ
ロードロックおよびトランスファーチャンバー向けのドライポンプです。製造装置内または近傍に設置可能で、長い配管設計が不要。低騒音・低振動設計によりクリーンルーム内にも対応し、可変スピードコントロールによって最適な排気能力と省エネルギー運転を実現します。
製品の特長
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製造装置内・近傍設置が可能
製造装置の中、あるいは近傍（クリーンルーム内）に設置可能。長い配管の設計・施工が不要です。
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低騒音・低振動
クリーンルームやグレイエリアへの設置が可能。A100モデルでは2段重ね設置にも対応します。
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可変スピードコントロール
最適な排気能力と消費電力を実現。調整機能部品が不要になります。
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高信頼性・高安全性
SEMI S2、CEに適合。多段ルーツ構造を採用しています。
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省エネルギー
高効率モーター採用による低消費電力化を実現しています。
主な活用シーン
ロードロック
搬送チャンバー
PVDスパッタリング
※クリーンプロセス向けの為、パージガスは流せません
仕様
| A100L | A100L ES | A200L | |
|---|---|---|---|
| ピーク排気速度 m3 /h 50/60Hz l/min 50/60Hz | 100 1666 | 100 1666 | 200 3340 |
| 吸気口/排気口 | NW50/25 | NW50/25 | NW50/25 |
| 全体寸法（長さ×幅×高さ/mm） | 600×280×300 | 600×280×300 | 600×280×300 |
| 重量（kg） | 100 | 100 | 100 |
| 消費電力※真空到達時 | 1.6kw | <0.8kw | 0.7kw |
