ターボ分子ポンプ HiPace® Series
真空機器
業界トップクラスの圧縮比と到達真空度を誇るターボ分子ポンプ
HiPace® Seriesは、業界トップクラスの圧縮比、到達真空度、ガス流量を特長とするPfeiffer社製のターボ分子ポンプおよびターボ分子ポンプ排気ユニットです。使用環境に合わせた仕様選択が可能で、面倒な配線作業も不要。
日本国内のみならず全世界でサービス対応が可能です。
製品の特長
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高い基本性能
業界トップクラスの圧縮比、到達真空度、ガス流量を実現しています。
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ドライブ回路搭載
ドライブ回路搭載により、省設置スペース、省ケーブル、省コストを実現します。
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設置自由度
使用環境に合わせて仕様選択が可能で、設置スペースの自在性があります。
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プラグ＆プレイ対応
アクセサリー類自動認識により、面倒な配線作業が不要です。
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グローバルサービス対応
日本国内のみならず、全世界でサービス対応が可能です。
用途
分析装置
半導体製造装置
加速器
その他多数
ラインナップ
| 軸受型(ハイブリッドベアリング) | 複合型ターボ分子ポンプ 業界トップクラスの排気速度、圧縮比、許容ガス流量 取付姿勢自由 RoHS、CE、UL、SEMI各種規格に準拠 防塵、防水規格IP54適合 |
| 磁気浮上型 | 五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ メンテナンスフリー、オイルフリー 取付方向自在、低振動、低ノイズ 業界トップクラスの圧縮比 |
| 大排気量用途 | ATH-Mシリーズは半導体、FPD、コーティング、太陽電池製造装置、その他産業向け大排気量用磁気浮上型ポンプです。 |
