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リークディテクタ ASM340 Series

真空機器

ヘリウムと水素を用いたクラス最高の安定性を誇るリークディテクタ

ASM340シリーズは、さまざまなアプリケーションにおいてヘリウムと水素を用いた真空リーク検出およびスニファーリーク検出で高い性能を発揮するリークディテクタです。メンテナンス用途から少量生産環境まで幅広く対応し、定性的なリーク箇所特定と定量的なグローバルテストまたはローカルテストに使用できる、信頼性の高いリークディテクタです。

リークディテクタ ASM340 Series

リークディテクタ ASM340 Series

リークディテクタ ASM340 Series

製品の特長

  • クラス最短のテスト時間

    大容量補助ポンプにより、クラス最短のテスト時間を実現し、あらゆる用途に対応します。

  • 短い応答時間

    高いヘリウムポンピング速度により、短い応答時間を実現します。

  • 高感度リーク検出

    5×10-^10 Pa・m^3/sのヘリウム最小検出可能リークレートにより、スニファーテストモードで優れた結果を得ることが可能です。

  • データ保存機能や豊富な通信・I/O機能

    測定データを本体およびUSBメモリに保存可能です。また、すべてのI/O機能とProfibus通信機能を備えています(オプション)。

  • 取り外し可能な操作パネルとカスタマイズ可能なインターフェース

    取り外し可能なカラーコントロールパネルを搭載しています。また、使いやすく、用途に応じてカスタマイズ可能なインターフェースを備えています。

用途

研究開発

機械工学

半導体産業

宇宙産業

計測分野

空調

自動車部品

その他多数

仕様

ASM340ASM340DASM340I
テストポートフランジNW25 ISO-KFNW25 ISO-KFNW25 ISO-KF
最小検出ヘリウムリーク量(真空法)1×10-13Pa.m3/sec1×10-13Pa.m3/sec1×10-13Pa.m3/sec
最小検出ヘリウムリーク量(スニファ法)5×10-10Pa.m3/sec5×10-10Pa.m3/sec5×10-10Pa.m3/sec
最高テスト圧力(真空法)2500Pa2500Pa2500Pa
ヘリウム排気速度(真空法)2.5L/sec2.5L/sec2.5L/sec
粗引きポンプ油回転ポンプダイヤフラムポンプ
粗引きポンプ排気速度15m3
/h
3.4m3
/h
供給電力90-130V、50/60Hz,200-240V、50/60Hz90-240V、50/60Hz90-240V、50/60Hz
最大消費電力850W600W350W
寸法(奥行×幅×高さ)375×547×389(mm)375×547×389(mm)375×547×389(mm)
重量56kg45kg32kg
使用環境温度0-45℃(真空法),0-40℃(スニファー法)0-35℃0-40℃
内蔵機能・自動校正(温度補償付き内部校正リークによる)
・自動ゼロ機能(信号がゼロにならないように「浮動ゼロ」方式を採用)
・自動信号補正(外部校正または手動調節補正係数)
・3つの真空テスト方法(多量リーク、ノーマル、高感度)
・可変ピッチの音響アラーム
・音声ガイド
・故障の際の自己診断機能
・インターフェイス
・3mass(4He、3He、H2)
・カラータッチパネルディスプレイ(リモコンコントロール)
・自動校正(温度補償付き内部校正リークによる)
・自動ゼロ機能(信号がゼロにならないように「浮動ゼロ」方式を採用)
・自動信号補正(外部校正または手動調節補正係数)
・3つの真空テスト方法(多量リーク、ノーマル、高感度)
・可変ピッチの音響アラーム
・音声ガイド
・故障の際の自己診断機能
・インターフェイス
・3mass(4He、3He、H2)
・カラータッチパネルディスプレイ(リモコンコントロール)
・自動校正(温度補償付き内部校正リークによる)
・自動ゼロ機能(信号がゼロにならないように「浮動ゼロ」方式を採用)
・自動信号補正(外部校正または手動調節補正係数)
・3つの真空テスト方法(多量リーク、ノーマル、高感度)
・可変ピッチの音響アラーム
・音声ガイド
・故障の際の自己診断機能
・インターフェイス
・3mass(4He、3
He、H2)
・カラータッチパネルディスプレイ(リモコンコントロール)
アクセサリー・追加リモートコントロール
・移動カート
・移動ケース
・追加リモートコントロール
・移動カート
・移動ケース
・追加リモートコントロール
・移動カート
・移動ケース

共通仕様

テストポートフランジ
DN25KF(NW25)
測定方法
真空法、スニファー法
測定可能ガス
⁴He、³He、H₂
最少検知可能リークレート(スニファー法)
5×10⁻¹⁰Pa・m³/s
最少検知可能リークレート(真空法)
<1×10-13Pa.m3/sec
ヘリウム排気速度
2.5l/s
最大テストポート圧力
25hpa
立上り時間(20℃、校正なし)
~3分
I/Oインターフェース
デジタル・アナログI/O、Relays
インターフェース
RS232、イーサネット
対応言語
日本語、中国語、韓国語、英語、フランス語、ドイツ語、イタリア語、スペイン語、ロシア語
寸法(奥行×幅×高さ)
375×547×389(mm)
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