真空ポンプ ACP Series2
真空機器
小型空冷・完全オイルフリーのコンパクトドライ真空ポンプ
完全オイルフリーでクリーンな次世代コンパクトドライ真空ポンプです。高レベルのクリーン度と高い信頼性が求められる用途に最適です。
製品の特長
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完全オイルフリー
粒子汚染や炭化水素ガスの逆流がなく、高いクリーン度を実現します。
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安定した性能と高い信頼性
運転中も安定した性能を維持します。高い信頼性が求められる用途に対応します。
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低いメンテナンスコスト
メンテナンスコストを低く抑えた運用が可能です。また、22,000時間（約2年半）メンテナンスフリーで使用できます。
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コンパクト設計・リモート制御対応
コンパクト設計により設置性に優れます。また、リモートでの制御が可能です。
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空冷
空冷方式を採用しています。
主な活用シーン：標準タイプ
分析機器
電子顕微鏡、表面分析、リークディテクタ、表面分析
R&D
粒子加速器、研究室用途
工業用途
特殊電球製造
クリーンプロセスのロードロック
主な活用シーン：N2パージ機構付 Gタイプ
プロセスモニタリング
収束イオンビーム
ロードロック、搬送チャンバー
| ACP15・ACP15G | ACP28・ACP28G | ACP40・ACP40G | |
|---|---|---|---|
| 排気速度 | 14m3/h(233L/min) | 27m3/h(450L/min) | 37m3/h(617L/min) |
| 到達圧力 (Gver N2パージあり) | 5・10-2mbar | 4・10-2mbar | 4・10-2mbar |
| 到達圧力 (SDver) | 5・10-2mbar | 4・10-2mbar | 4・10-2mbar |
| 最高連続吸気口圧力 | 大気圧 | 大気圧 | 大気圧 |
| 入力電圧 | 100/200V AC(±10%),50/60Hz | 100/200V AC(±10%),50/60Hz | 100/200V AC(±10%),50/60Hz |
| 吸排気口径 | NW25 ISO-KF/NW16 ISO-KF | NW25 ISO-KF/NW25 ISO-KF | NW40 ISO-KF/NW25 ISO-KF |
| 冷却方法 | 空冷 | 空冷 | 空冷 |
| 騒音値 | 63dB(A) | 65dB(A) | 65dB(A) |
| 全体寸法(奥行×幅×高さ) | 514×190×270mm | 647×193×322mm | 647×193×322mm |
| 重量 | 23kg | 30kg | 32kg |
※排気速度をさらに必要とするお客様にはルーツポンプと組み合わせた排気ユニットもご提供しております。
