ACP120 Series

製品の特長

• 粒子汚染がない

  ドライポンプ構造によりクリーンな排気を実現します。
  

• 低消費電力

  省エネルギー設計により、運転時の消費電力を抑え、ランニングコストの低減に貢献します。
  

• 安定した排気性能

  長時間運転においても安定した排気性能を維持できるため、幅広い用途に対応します。
  

• 高い信頼性

  半導体用途で実績のある技術を活用し、高い信頼性と耐久性を備えています。
  

• コンパクト設計と低メンテナンスコスト

  設置スペースを抑えたコンパクト設計で、装置組み込みや既設設備への導入が容易です。またシンプルな構造により、保守点検やメンテナンスの負担を軽減します。