幅広いラインナップで多様な用途に対応可能な真空機器
アペックスは旧アルカテル・バキューム・テクノロジー社及びアディクセン ジャパン株式会社真空機器製品の国内における正規販売代理店として展開し、現在は、ファイファーバキューム社の日本における総代理店の伯東株式会社の代理店として、製品販売に加えて、お客様のニーズに対応し、長年の半導体製造装置生産技術を活かしたトータルコーディネイトのご提案もしております。
2010年12月 Adixen Vacuum ProductsはPfeiffer Vacuumの傘下となりました。
製品一覧
PFEIFFER社製 真空計
真空機器
用途に合わせて選べる豊富なラインナップの真空計
ターボ排気ユニット Hicube Series
真空機器
1台で高真空領域まで対応する統合型ターボ排気ユニット
ターボ分子ポンプ HiPace® Series
真空機器
業界トップクラスの圧縮比と到達真空度を誇るターボ分子ポンプ
ヘリウムリークディテクタ ASM306S
真空機器
スニファ法専用ヘリウムリークディテクタ
A100L/A200L ロードロック・トランスファーチャンバー用ドライポンプ
真空機器
クリーンルーム対応、高効率・高信頼のロードロック用ドライポンプ
A103P
真空機器
ミディアム・プロセス向け省エネ型ドライポンプ
高効率ドライ多段ルーツ式プロセスポンプ A4シリーズ
真空機器
多様なラインアップで要求にフィットするプロセスポンプ
スクロールポンプHiScrollシリーズ
真空機器
オイルフリーで静音・省メンテナンスなドライスクロールポンプ
真空ポンプ ACP Series2
真空機器
小型空冷・完全オイルフリーのコンパクトドライ真空ポンプ
ACP120 Series
真空機器
半導体用途の技術を活かしたライトプロセス向けドライポンプ
ヘリウムリークディテクタ ASM390/392
真空機器
モバイルドライハイパフォーマンス リークディテクタ
リークディテクタ ASM340 Series
真空機器
ヘリウムと水素を用いたクラス最高の安定性を誇るリークディテクタ
ヘリウムリークディテクタ ASM310
真空機器
フィールドサービス向け小型ヘリウムリークディテクタ