PSM社（韓国） 大気圧プラズマユニット

製品の特長

• 大気圧プラズマ生成

  特別な設計の放電電極により、大気圧下でプラズマの生成が可能です。

• ダメージのない処理

  大気圧プラズマのため処理物へのダメージがありません（No ECD）。

• 幅広いサイズ対応

  プラズマモジュールは70㎜の小型サイズから1000㎜超の大型サイズまで、用途に応じた設計が可能です。

• 簡易工程・低コストかつ既存装置への組み込み容易

  工程がシンプルで、低コスト導入が可能です。また既存装置のスペースを利用して搭載でき、スループットを損なうことなく効果を得られます。インライン工程への対応が可能です。接着力の改善や微細パターン形成にも対応します。

• 環境親和型プロセス

  環境親和的なドライ洗浄プロセスを実現します。また、Cu PCBにおけるMicro Void低減に貢献します。