大気圧プラズマユニット

PSM社のプラズマシステムは、高い性能により様々な用途に使用されております。　半導体のパッケージング、ダイボンダー、ワイヤーボンダー工程やディスプレイのドライクリーニング、またはガラスやプラスティック等、様々な表面処理プロセスにおいて活躍しております。

用途

フラットパネルディスプレイ

• TFT-LCD、OLED及びPDPパネル向けAP洗浄システム
• 大気圧プラズマアッシング、ウェットエッチング前処理＆ディスカム工程向け

半導体

• パッケージング、PCB及びフィルム分野向けAPプラズマ表面処理システム
• 半導体やPCB基板へのインライン真空プラズマシステム
• PLASMA SYSTEM for Mold Die Chase Cleaning

太陽電池/諸材料

• ガラスソーラーセルAPプラズマ洗浄システム
• Roll to Rollフレキシブル基板のAPプラズマ表面処理システム

プリント電子部品

• Roll to Rollプリントプロセス対応のAPプラズマシステム

大気圧プラズマのメリット

• 接着力の改善　微細パターン可能
• No Micro Void Cu PCB
• 環境親和的な洗浄（ドライ洗浄）
• 簡単な工程と低価格
• インライン工程対応
• ダメージ無し （No ECD)

PSM社のプラズマは特別な設計をされた放電電極により、大気圧にてプラズマの生成が可能です。大気圧のため処理物へのダメージが無く、さらにプラズマのモジュールのサイズは小型の70㎜の物から大型の1000㎜を超える物までお客様のニーズに合わせた設計が可能です。そのため、お客様の既存装置のスペースを利用し搭載することによりスループットを損なうことなく効果を得ることができます。

PSM社では、大気圧プラズマの他に真空プラズマ装置も製造しています。