ターボ排気ユニット Hicube Series
真空機器
1台で高真空領域まで対応する統合型ターボ排気ユニット
Hicube Seriesは、ターボ分子ポンプと粗引きポンプをユニット化した排気システムで、1台で高真空領域までの排気を実現します。操作性に優れ、スイッチ一つで両ポンプを同時駆動できるため効率的な運用が可能です。高い真空性能と信頼性により、大学・官公庁をはじめとする多くの研究現場で導入実績を持ち、幅広い用途に対応しています。
製品の特長
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統合排気システム
ターボ分子ポンプと粗引きポンプをユニット化し、スイッチ一つで同時駆動が可能です。
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高真空性能
圧縮比・到達真空度・ガス流量において高性能を実現し、高真空環境に対応します。
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実績と信頼性
大学・官公庁などの研究機関で多数の導入実績があり、安定した運用が可能です。
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操作性・効率性
簡単操作で排気システムを一括制御でき、作業効率を向上します。
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グローバルサポート
日本国内だけでなく、全世界でサービス対応が可能です。
主な活用シーン
研究機関・実験設備
真空チャンバー排気
分析装置・検査装置
大学・官公庁研究用途
ラインナップ
| Hicube Eco Series | コンパクト設計により卓上設置可能 持ち運び可能な軽量設計 幅広いラインナップからターボ分子ポンプと粗引ポンプを組み合わせ可能 |
| Hicube Classic Series | 自動ベントバルブ標準装備 キャスター付きなので移動が簡単 幅広いラインナップからターボ分子ポンプと粗引ポンプを組み合わせ可能 |
| Hicube Pro Series | 自動ベントバルブをオプション追加可能 キャスター付きなので移動が簡単 幅広いラインナップからターボ分子ポンプと粗引ポンプを組み合わせ可能 |
