半導体製造装置、自動制御機器、海外取扱製品、真空機器、映像・光学機器、監視システムの製造、販売、メンテナンス
半導体製造装置、自動制御機器、海外取扱製品、真空機器、映像・光学機器、監視システムの製造、販売、メンテナンス
アペックスは最先端の優れた自動制御機器、真空機器、映像機器を世界各国から御紹介します。機器の販売のみでなく、カスタマイズ、設置、メンテナンスなどをトータルにご提供。お客様の生産活動をサポートします。
ASM 340シリーズは、メンテナンスから少量生産環境まで、さまざまな用途での真空リーク検出およびスニファーリーク検出において最高の性能を約束します。定性的なリーク箇所特定と定量的なグローバルテストまたはローカルテストに使用できる、信頼性の高いリークディテクターです。
・クラス最短のテスト時間を実現。
・大容量補助ポンプにより、あらゆる用途に対応。
・ 高いヘリウムポンピング速度により、短い応答時間を実現。
・ 100 hPa(104Pa)以上という類を見ないリーク検出能力。
・ 5×10-10Pa m3/sというヘリウム最小検出可能リークレートにより、スニファーテストモードで優れた結果を得ることが可能。
・ 記録、ダウンロード、およびパラメーターの設定を行うSDメモリカードを内蔵。
・ 取り外し可能なカラーコントロールパネル。
・ 使い易くカスタマイズ可能なインターフェース。
・ すべてのI/O機能とProfibus通信機能を備えています。（オプション）
| ・研究開発 | ・宇宙産業 |
|---|---|
| ・機械工学 | ・計測分野 |
| ・冷蔵庫 | ・空調 |
| ・半導体産業 | ・その他多数 |
| ASM340 | ASM340D | ASM340I | |
| 粗びきポンプ | 油回転ポンプ | ダイヤフラムポンプ | ― |
| 粗びきポンプ排気速度 | 15m3/h | 3.4m3/h | ― |
| 最大消費電力 | 850W | 600W | 350W |
| 供給電力 | 90-130V、50/60Hz200-240V、50/60Hz | 90-240V、50/60Hz | 90-240V、50/60Hz |
| 重量 | 56kg | 45kg | 32kg |
| 使用環境温度 | 0-45℃（真空法）0-40℃（スニファー法） | 0-35℃ | 0-40℃ |
| テストポートフランジ | DN25KF(NW25) | ||
| 測定方法 | 真空法、スニファー法 | ||
| 測定可能ガス | 4He、3He、H2 | ||
| 最少検知可能リークレート（スニファー法） | 5×10-10Pa・m3/s | ||
| 最少検知可能リークレート（真空法） | <5×10-13Pa・m3/s | ||
| ヘリウム排気速度 | 2.5l/s | ||
| 最大テストポート圧力 | 25hpa | ||
| 立上り時間（20℃、校正なし） | ～3分 | ||
| I/Oインターフェース | デジタル・アナログI/O、Relays | ||
| インターフェース | RS232、イーサネット | ||
| 対応言語 | 日本語、中国語、韓国語、英語、フランス語、ドイツ語、イタリア語、スペイン語、ロシア語 | ||
| 寸法 | 393×547×375mm | ||
小型！軽量！高感度！ドライ！の4つのコンセプトにより開発された、アディクセンシリーズ内、最軽量の新世代ヘリウムリークディテクタです。
| 小型 ： | 狭いスペースでのリークテストに最適 |
|---|---|
| 軽量 ： | 重量：21kg 最軽量 |
| 高感度 ： | このサイズで10-13Pa.m3/secの高感度 |
| ドライ ： | 粗引きポンプが小型ドライポンプを搭載しているため、クリーンな環境でのテストが可能 |
| 操作性 ： | グラフ（チャート）、He、H2設定、言語、設定条件を容易にカスタマイズ可能 データをSDカードに保存可能 |
・各種真空装置
・研究開発ラボシステムのメンテナンス
・ガス配管
・クリーンな環境での運転（宇宙・航空産業、医療、食品工業等）
| 最小検出ヘリウムリーク量（真空法) | 5x10-13Pa.m3/sec |
|---|---|
| 最小検出ヘリウムリーク量（スニファ法） | 1x10-8Pa.m3/sec |
| 最高テスト圧力（真空法) | 1500Pa |
| ヘリウム排気速度(真空法) | 1.1L/sec |
| 寸 法 | 350×450×245(mm) |
| 重 量 | 21kg |
| 内蔵機能 | 自動校正（温度補償付き内部校正リークによる） |
| 自動ゼロ機能（信号がゼロにならないように「浮動ゼロ」方式を採用） | |
| 自動信号補正（外部校正または手動調節補正係数） | |
| ３つの真空テスト方法（多量リーク、ノーマル、高感度） | |
| 可変ピッチの音響アラーム | |
| 音声ガイド | |
| 故障の際の自己診断機能 | |
| インターフェイス | |
| 3mass(He4、He3、H2) | |
| カラータッチパネルディスプレイ（リモコンコントロール） | |
| アクセサリー | 追加リモートコントロール |
| 移動カート | |
| 移動ケース |
アディクセンの第３世代リークディテクタに強力なモデルが加わりました。
ASM380は、あらゆる測定レンジにおいて、早く正確なリークテストをお約束します。小さなフットプリントのボディに高いドライポンピング性能、高感度、機動性を装備。
オイルフリーでクリーンなASM380は、わずかな汚染も許さないクリーン環境における装置メンテナンスや製品のリーク検査を行うためのパーフェクトチョイスです。
・操作性抜群のプラットフォームに詰め込まれた、パワーと機動性
・大きなドライ排気能力（617L/min）
・比類なきヘリウム排気能力（7L/s）
・360°回転可能なカラータッチパネルディスプレイ
・簡単操作！直感的なナビゲーションメニュー
・SDカードスロット搭載。測定結果や各種パラメータの記録と再生
・メンテナンスコストを抑える新設計ターボポンプとフィラメントを搭載
・LED
・半導体
・太陽電池
・フラットパネルディスプレイの製造装置
・医療機器
・コーティング
・その他一般産業のリークテスト
| 最小検出ヘリウムリーク量（真空法) | 5x10-13Pa.m3/s |
|---|---|
| 最小検出ヘリウムリーク量（スニファ法） | 1x10-8Pa.m3/s |
| 最高テスト圧力（真空法) | 1500Pa |
| ヘリウム排気速度(真空法) | 7L/s |
| 寸 法 | 1065×455×1025(mm) |
| 重 量 | 110kg |
| 吸気口サイズ | NW40 ISO-KF |
| 電源 | 90-240VAC-50/60 Hz |
| 主な機能 | 自動校正（温度補償付き内部校正リークによる） |
| オートゼロ機能 | |
| バックグランド抑制機能 | |
| 3段階の真空測定モード（グロス、ノーマル、高感度） | |
| 可変ピッチ音響アラーム | |
| 9ヶ国音声ガイド | |
| 自己診断機能 | |
| RS232及びI/Oインターフェース | |
| 3mass(He4,He3,H2) | |
| カラータッチパネル（360°回転可） |
半導体製造におけるハーシュプロセスは、常に真空ポンプにとって大いなる挑戦でした。A4シリーズは、実績のある高効率多段ルーツ式技術により、排気速度100～2300m3/hのラインアップのドライポンプによる幅広い解決策をご提案します。従来のプロセスポンプに比べ、腐食と副生成物への耐性が大幅に向上し、最先端の20nm以下のテクノロジーノードへの適応が可能です。A4シリーズは、低消費電力によるプロセス寿命の延長が図れ、コストの大幅な削減が可能です。
・多段ルーツ式技術や、高効率モータと電気ヒータの限定的使用による高エネルギー効率
・広範囲の使用温度環境により、クラックの前兆や凝縮性堆積からポンプを保護します
・耐腐食性材の使用によるポンプ寿命の向上
・高い信頼性によるコスト削減
・高い粉塵への耐性により、稼働時間の向上
・様々な機能モニタリングによるポンプコンディションの適切な把握
・Semi S2規格とUL規格に適合
・半導体（CVD、エッチングなど）
・コーティング
| A124H | A604H | A1204H | |
| 最大排気速度N2 | 110m3/h | 560m3/h | 1150m3/h |
| 最大到達圧力（パージ無） | 2×10-2hPa | 2×10-3hPa | 1×10-3hPa |
| 最大到達圧力（パージ50slm） | 1×10-1hpa | 6×10-3hPa | 6×10-3hPa |
| 最大連続流入量（最大回転時） | 80slm | 60slm | 55slm |
| 入力電圧 | 200-230V/380-480V、3相±10%、50/60Hz | ||
| 消費電力（最高到達圧力時、排気加熱無） | 1.5kW | 2.0kW | 2.3kW |
| 最大排気過圧 | 1200hpa | 1200hPa | 1200hPa |
| 冷却水流量 | 2-3l/mn | 2.5-4l/mn | 2.5-4l/mn |
| 冷却水温度 | 10-35℃ | 10-35℃ | 10-35℃ |
| 冷却水接続口 | 3/8NPT | 3/8NPT | 3/8NPT |
| N2流量 | 10-120slm | 10-120slm | 10-120slm |
| 使用温度範囲 | 5-40℃ | 5-40℃ | 5-40℃ |
| インレットフランジ | DN50ISO-KF | DN100ISO-K | DN160ISO-k |
| 排気フランジ | DN40ISO-KF | DN40ISO-KF | DN40ISO-KF |
| 外形寸法（奥行×幅×高さ） | 962×388×578mm | 962×388×775mm | 962×388×911mm |
| 重量 | 250kg | 370kg | 530kg |
| 最大振動（インレットフランジにて） | <0.1g/1.5mm/s | <0.1g/1.5mm/s | <0.1g/1.5mm/s |
| 最大騒音（最大到達圧力時） | <65dB(A) | <68dB(A) | <69dB(A) |
| A204H/A204X | A804H/A804X | A1504H/A1504X | A1804H/A1804X | A24092H/A2404X |
| 160m3/h | 700m3/h | 1200m3/h | 1700m3/h | 2300m3/h |
| 5×10-2hPa | 4×10-3hPa | 4×10-3hPa | 4×10-3hPa | 4×10-3hPa |
| 2×10-1hPa | 9×10-3hPa | 9×10-3hPa | 9×10-3hPa | 9×10-3hPa |
| 150slm | 100slm | 100slm | 70slm | 30slm |
| 200-230V/380-480V、3相±10%、50/60Hz | ||||
| 1.8kW | 2.6kW | 2.6kW | 2.6kW | 2.6kW |
| 1200hPa | 1200hPa | 1200hPa | 1200hPa | 1200hPa |
| 2-4l/mn | 2.5-5l/mn | 2.5-5l/mn | 2.5-5l/mn | 2.5-5l/mn |
| 10-35℃ | 10-35℃ | 10-35℃ | 10-35℃ | 10-35℃ |
| 3/8NPT | 3/8NPT | 3/8NPT | 3/8NPT | 3/8NPT |
| 10-120slm | 10-120slm | 10-120slm | 10-120slm | 10-120slm |
| 5-40℃ | 5-40℃ | 5-40℃ | 5-40℃ | 5-40℃ |
| DN50ISO-KF | DN100ISO-K | DN160ISO-k | DN160ISO-k | DN160ISO-k |
| DN40ISO-KF | DN40ISO-KF | DN40ISO-KF | DN40ISO-KF | DN40ISO-KF |
| 962×388×578m | 962×388×775m | 962×388×911m | 962×388×911m | 962×544×911m |
| 260kg | 380kg | 540kg | 540kg | 640kg |
| <0.1g/1.5mm/s | <0.1g/1.5mm/s | <0.1g/1.5mm/s | <0.1g/1.5mm/s | <0.1g/1.5mm/s |
| <65dB(A) | <68dB(A) | <69dB(A) | <69dB(A) | <69dB(A) |
アディクセンの多段ルーツテクノロジーが、非常に小型ながら幅広い排気速度100～1000㎥/h、高い信頼性をもつ低ノイズ・低ランニングコストのドライポンプを実現しました。従来のタイプに比べ最大50％の省エネ効果をもたらします。
・省エネ設計による低ランニングコスト
・コンパクトデザイン ミディアム・プロセスにおいて高い信頼性を発揮
・多段ルーツテクノロジー採用
・温度制御およびパージ機能を搭載
・耐食性
・低ノイズ・低振動 ・CEおよびSemi S2-0706準拠
・エッチング(酸化およびポリ)
・ドライエッチング(RIE/Ashing)
・ストリップ(除去・洗浄工程)
・RTP
・インプラ
| 項目 | 単位 | A103P | A603P | A1003P |
|---|---|---|---|---|
| ピーク排気速度 (50/60Hz) |
m3/h | 120 | 570 | 900 |
| l/min | 2,000 | 9,500 | 15,000 | |
| 到達真空 (N2パージを除く) |
Pa | 5×10-1 | 2×10-2 | |
| mbar | 3×10-3 | 3×10-4 | ||
| 到達真空 (20 SLM N2パージ) |
Pa | 2 | 7.5×10-2 | |
| mbar | 2×6-2 | 1×10-3 | ||
| 消費電力：到達真空 | kW | 1.0 | 1.3～1.6 | |
| 消費電力：モーター定格 | kW | 2.5 | 4.7 | 5.0 |
| 電源 | V | 200～208/380～480、3相、50/60Hz | ||
| 冷却水接続 | 1/4 NPT クイックコネクト | |||
| 冷却水温度 | ℃ | 10～25 | ||
| 冷却水流量 | l/h | 90 | ||
| N2パージ流量範囲 | SLM | 5～60 | ||
| 平均ノイズレベル | dBA | <58 | <65 | <65 |
| 外形寸法(長さ×幅×高さ) | mm | 684×310×323 | 684×342×662 | |
| 重量 | kg | 125 | 270 | |
| 吸気／排気口 | ISO-K/KF | NW50/NW25 | NW100/NW25 | |
