ロータリーポンプ
Pascal Series
長寿命運転で信頼性の高いロータリーポンプ
5～21m3/h(90～345l/min,50Hz)さまざまな性能要求にもっともマッチします 用途目的に対応したシリーズよりお選びください
特長
- 長寿命
- 容易なメンテナンス
- 幅広いラインナップ
用途
SDシリーズ
非腐食性用途に適した標準仕様のポンプ (凝縮しやすい気体を排気する必要がある場合、あるいは低い圧力が必要ない用途向けの1段ポンプもございます)
Iシリーズ
分析用途向けに開発された低振動・低騒音タイプのポンプ
C1シリーズ
腐食性ガス用に設計された耐久性を備えた機種
C2シリーズ
半導体産業におけるほとんどの腐食性ガスに対応するように設計された機種
用途選別ガイド
| 各専用シリーズの名称 | SDシリーズ | Iシリーズ | C1シリーズ | C2シリーズ |
| 残留ガス分析（RGA） | ● | |||
| リーク検知 | ○ | ● | ||
| 質量分析機器 | ● | |||
| その他の分析機器 | ○ | ● | ||
| 電子顕微鏡 | ● | |||
| 表面分析機器 | ● | |||
| 遠心分離機 | ○ | |||
| 医療用滅菌機器 | ● | |||
| 電子管 | ● | ○ | ||
| ネオンサイン管 | ● | ○ | ||
| ランプ、電球 | ● | ○ | ||
| ブラウン管（CRT） | ● | ○ | ||
| 冷凍 | ● | ○ | ||
| 空調 | ● | ○ | ||
| 乾燥 | ○ | ● | ○ | |
| 蒸留 | ○ | ● | ○ | |
| 治金 | ● | ○ | ||
| 凍結乾燥 | ● | ○ | ○ | |
| CVD、PECVD | ○ | ● | ||
| イオン注入 | ● | |||
| ドライエッチング | ● | |||
| ロードロック | ○ | ● | ○ | |
| 極低温工学 | ○ | |||
| ガス回収 | ||||
| 酸素排気 | ● |
●：推奨 ○：適用可能
上の表は用途別の一般的なグループに推奨されるポンプを示すものです。動作サイクル、温度、腐食性ガス濃度などのパラメーターによっては異なる可能性があります。さらに吸気側や排気側にアクセサリーを使用することによって、ポンプの動作や寿命を改善できます。
仕様
| 排気速度(50/60Hz) | m3/h | 5.4/6.5 | 9.7/11.6 | 15/18 | 20.7/24.8 |
| 排気速度(50/60Hz) | l/min | 90/108 | 162/193 | 250/300 | 345/413 |
| SDシリーズ | ２段 | 2005SD | 2010SD | 2015SD | 2021SD |
| Iシリーズ | ２段 | 2005I | 2010I | 2015I | 2021I |
| C1シリーズ | ２段 | 2005C1 | 22010C1 | 2015C1 | 2021C1 |
| C2シリーズ | ２段 | － | 2010C2 | 2015C2 | 2021C2 |
| SDシリーズ | １段 | 1005SD | － | 1015SD | － |
ロータリーポンプ専用アクセサリー
油回転ポンプの運転を最適化するために、アクセサリーが必要となります。これらのアクセサリーは運転・組立・分解を容易にするために設計され、吸気側と排気側のフランジはISO-KF規格に準拠しています。用途別にアクセサリーを使用することは真空システムの性能と信頼性を向上させる最善の方法です。
アクセサリーラインナップ
| オイルミスト エリミネータ |
油回転真空ポンプの運転中、ポンプの排気口からオイルミストが排出されます。 この現象は主に、大気圧と100Pa間の排気時に見られます。オイルミストエリミネータは、排気ガスに含まれている油分の分離をハイレベルで行|い、内部の加圧防止弁により、排気圧力が許容圧力を超過するのを防ぎます。 |
| オイルドレイン キット1 |
オイルミストエリミネータOME25HPと共に使用してください。 ODK1は、一方の端を OME25HPの底部に接続し、他方の端をガスバ ラスト供給口に接続するドレインパイプで構成されております。 ポンプを高圧領域で運転するとOMEHPに蓄えられたオイルがガスバラ スト経由で再注入されます。 |
| オイルドレイン キット2 |
オイルドレインキット2はODK1と類似のキットで、ガスバラスト供給口にNCタイプの電磁弁が付属しています。 バルブはポンプと同じ 電源で、励磁して下さい。 |
| 液体窒素トラップ | ポンプ吸気口において、 臨界凝縮温度が-196°Cより高い全てのガスを凝縮してトラップします。トラップは凝縮性のあるガスの流入からポンプを守る場合、あるいは非常にクリーンな真空が求められた場合にポンプ吸気口でオイル上記の逆拡散を防ぐ場合に使用できます。 |
| 吸着トラップ | 吸着トラップは非常に多孔質の表面を有する吸着媒体で満たされた密閉容器であり、排気ガスに含まれている水や炭化水素の分子を吸着します。クリーンな真空が必要とされるときはいつでも、吸着トラップは炭化水素の逆拡散に対し簡単かつ効果的です。(型式によりオーブン加熱あるいは内蔵型ヒーターで加熱します) |
| 吸気口ダストフィルタ | 吸気口にダストフィルタを使用すると、 固体の微粒子が油回転真空ポンプに入るのを防 ぎ、研磨剤のように作用しポンプの寿命を縮める固体微粒子の集中を避けることができます。排気効率をよく維持するには定期的なメンテナンスが必要です。 |
| 凝縮トラップ | ポンプの吸気口に凝縮トラップを使用すると、オイルと混じってポンプの寿命を縮める固体や液体の異物(泡、堆積物など)の流入を防 ぐことができます。 吸引されたガスは金属フィルタとステンレス鋼のウールを通過し、微粒子や堆積物が取り除かれ、廃液の凝集を確かにします。 排気口に使用すると、凝縮トラップはポンプが高圧で運転されるときのオイルミストをト ラップできます。従来のオイルミストエリミネータと一緒にご利用頂けます。 |
| 遠隔制御 | 電気的に作動するガスバラストは、油回転真空ポンプの手動ガスバラストの遠隔制御方式のものです。 ノーマルクローズ(NC、常時閉)の電磁弁で構成されポンプの高圧段に空気を注入できます。 |
| ガスバラストシステム | 自動ガスバラストは乾燥した不活性ガス源に接続できます。手動ガスバラストの使用頻度 が高い場合や接近が困難な場合には便利でお役に立ちます。 |
| オイルレベルスイッチ | オイルレベルスイッチは油回転真空ポンプのオイルケース内部のオイル液面位置に関する |情報を提供します。 ポンプが、接近できない場所にある場合や多数のポンプを監視しなければならない場合に、オイルレベルスイッチは遠隔でオイル液面位置を点検するのに便利です。 |
| 外部オイルフィルタ | DEフィルタシステムはオイルをフィルタカートリッジに循環させる磁気駆動のギアポンプで構成される独立したユニットです。 濾過媒体とカートリッジ数によって、ポンプオイル内に含まれる固体微粒子を取り除き腐食性の物質を中性化します。DEフィルタは排気速度5~60m2/h(90~1000l/min、50Hz) の全ての油回転真空ポンプに接続可能で、接続に必要なすべての部品が付属しています。 |