ターボ分子ポンプ
Hipace® Series
ターボ分子ポンプ排気ユニット
Pfeiffer社製 ターボ分子ポンプの特長
業界トップクラスの圧縮比、到達真空度、ガス流量
- ドライブ回路搭載
- 省設置スペース
- 省ケーブル
- 省コスト
使用環境に合わせて仕様選択が可能
- ドライブ回路切離しタイプ
- 設置環境
- 設置スペースの自在性
アクセサリー類自動認識(プラグ&プレイ)
- 面倒な配線作業などが不要
日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
用途
- 分析装置
- 半導体製造装置
- 加速器
- その他多数
ラインナップ
軸受型(ハイブリッドベアリング)
- 複合型ターボ分子ポンプ
- 業界トップクラスの排気速度、圧縮比、許容ガス流量
- 取付姿勢自由 RoHS、CE、UL、SEMI各種規格に準拠
- 防塵、防水規格IP54適合
磁気浮上型
- 五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ
- メンテナンスフリー、オイルフリー
- 取付方向自在、低振動、低ノイズ
- 業界トップクラスの圧縮比
大排気量用途
ATH-Mシリーズは半導体、FPD、コーティング、太陽電池製造装置、その他産業向け大排気量用磁気浮上型ポンプです。
ターボ排気ユニット Hicube Series
ターボ分子ポンプと粗引きポンプをユニット化し、一台で高真空領域まで排気できます
特長
- 大学・官公庁等の研究機関で圧倒的な実績
- ターボ分子ポンプと粗引きポンプがスイッチ一つで同時駆動
- 業界トップクラスの圧縮比、到達真空度、ガス流量など
- 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
ラインナップ
Hicube Eco Series
- コンパクト設計により卓上設置可能
- 持ち運び可能な軽量設計
- 幅広いラインナップからターボ分子ポンプと粗引ポンプを組み合わせ可能
Hicube Classic Series
- 自動ベントバルブ標準装備
- キャスター付きなので移動が簡単
- 幅広いラインナップからターボ分子ポンプと粗引ポンプを組み合わせ可能
Hicube Pro Series
- 自動ベントバルブをオプション追加可能
- キャスター付きなので移動が簡単
- 幅広いラインナップからターボ分子ポンプと粗引ポンプを組み合わせ可能
