ヘリウムリークディテクタ ASM390/392
モバイルドライハイパフォーマンス リークディテクタ ASM390/ASM392
PFEIFFER社の第3世代リークディテクタにおける高性能可搬型モデルのASM380の後継機として新たにASM390とASM392が登場 ASM390/392はあらゆる測定レンジにおいて、ASM380と比べより早く正確なリークテストが可能です。(ヘリウム排気速度:ASM380 7l/s⇒ ASM390 10l/s,ASM392 25l/s)小さなフットプリントのボディに高いドライポンピング性能、高感度、機動性を装備。オイルフリーでクリーンなASM390/392はわずかな汚染も許さないクリーン環境における装置メンテナンスや製品のリーク検査を行うためのパーフェクトチョイスです。
特長
- 操作性抜群のプラットフォームに詰み込まれた、パワーと機動性
- 大きなドライ排気能力(617l/min)
- 比類なきヘリウム排気能力(ASM390:10l/s、ASM392:25l/s)
- 360°回転可能なカラータッチパネルディスプレイ
- 簡単操作!直感的なナビゲーションメニュー
- SDカードスロット搭載。測定結果や各種パラメータの記録と再生
- メンテナンスコストを抑える新設計ターボポンプとフィラメントを搭載
用途
- LED
- 半導体
- 太陽電池
- フラットパネルディスプレイの製造装置
- 医療機器
- コーティング
- その他一般産業のリークテスト
仕様
ASM390 | ASM392 | |
最小検出ヘリウムリーク量(真空法) | 1×10-13Pa m3/s | 1×10-13Pa m3/s |
最小検出ヘリウムリーク量(スニファ法) | 1×10-9Pa m3/s | 1×10-9Pa m3/s |
最高テスト圧力(真空法) | 20hPa | 20hPa |
ヘリウム排気速度(真空法) | 10l/s | 25L/s |
寸 法(奥行×幅×高さ) | 1072×455×1025(mm) | 1072×455×1025(mm) |
重 量 | 125kg | 130kg |
吸気口サイズ | DN40 ISO-KF (NW40) | DN40 ISO-KF (NW40) |
電 源 | 100-240V,50/60Hz | 100-240V,50/60Hz |
主な機能
- 自動校正(温度補償付き内部校正リークによる)
- オートゼロ機能
- バックグラウンド抑制機能
- 3段階の真空測定モード(グロス,ノーマル,高感度)
- 可変ピッチ音響アラーム
- 9ヶ国音声ガイド
- 自己診断機能
- RS232及びI/Oインターフェース
- 3mass(⁴He,³He,H₂)
- カラータッチパネル(360°回転可)(リモートコントロール)