真空ポンプ ACP Series2
小型空冷ドライポンプ
完全オイルフリーでクリーンな次世代コンパクトドライ真空ポンプです。高レベルのクリーン度と高い信頼性が求められる用途に最適です。
特長
- 粒子汚染がない
- 炭化水素ガスの逆流がない
- 安定した性能
- 高い信頼性
- 低いメンテナンスコスト
- コンパクト設計
- 空冷
- リモートでの制御が可能
- 22,000時間(約2年半メンテナンスフリー)
用途
標準タイプ
- 分析機器(電子顕微鏡,表面分析,リークディテクタ,表面分析)
- R&D(粒子加速器,研究室用途)
- 工業用途(特殊電球製造)
- クリーンプロセスのロードロック
N2パージ機構付 Gタイプ
- プロセスモニタリング
- 収束イオンビーム
- ロードロック、搬送チャンバー
仕様
| ACP15・ACP15G | ACP28・ACP28G | ACP40・ACP40G | |
| 排気速度 | 14m3/h(233L/min) | 27m3/h(450L/min) | 37m3/h(617L/min) |
| 到達圧力 (Gver N2パージあり) | 5・10-2mbar | 4・10-2mbar | 4・10-2mbar |
| 到達圧力 (SDver) | 5・10-2mbar | 4・10-2mbar | 4・10-2mbar |
| 最高連続吸気口圧力 | 大気圧 | 大気圧 | 大気圧 |
| 入力電圧 | 100/200V AC(±10%),50/60Hz | 100/200V AC(±10%),50/60Hz | 100/200V AC(±10%),50/60Hz |
| 吸排気口径 | NW25 ISO-KF/NW16 ISO-KF | NW25 ISO-KF/NW25 ISO-KF | NW40 ISO-KF/NW25 ISO-KF |
| 冷却方法 | 空冷 | 空冷 | 空冷 |
| 騒音値 | 63dB(A) | 65dB(A) | 65dB(A) |
| 全体寸法(奥行×幅×高さ) | 514×190×270mm | 647×193×322mm | 647×193×322mm |
| 重量 | 23kg | 30kg | 32kg |
※排気速度をさらに必要とするお客様にはルーツポンプと組み合わせた排気ユニットもご提供しております。