真空ポンプ ACP120 Series
半導体用途以外の幅ひろいライトプロセス向け
“ACP120シリーズ”
半導体用途での実績を活かし、その他の産業向けに新しいドライポンプを販売開始いたしました
特長
- 粒子汚染がない
- 消費電力が少ない
- 安定した性能
- 高い信頼性
- 低メンテナンスコスト
- コンパクトな設計
用途
標準タイプ 非腐食性ガス用途
- ガラスコーティング
- 冶金
- 一般排気
- 凍結乾燥
- R&D
- リークディテクションシステム
N2パージ機構付タイプ
微量の腐食性ガスの排気に特に設計されており、ベアリング保護の不活性ガスパージ機能付です。
仕様
| ACP120・ACP120G | |
| 排気速度(50/60Hz) | 95/112m3/h |
| 最高連続吸気口圧力 | 30000Pa |
| 入力電圧 | 200/208V、380/415V |
| 吸気口／排気口 | NW50/NW40 |
| 全体寸法（奥行き×幅×高さ） | 840×370×505㎜ |
| 重量 | 205Kg |
※排気速度をさらに必要とするプロセスにはルーツポンプと組合わせた排気ユニットもご提供しております。