A100L/A200L
ロードロック・トランスファーチャンバー用ドライポンプ
特長
製造装置の中、あるいは近傍(クリーンルーム内)に設置できます
長い配管の設計・施行が不要
低騒音・低振動
クリーンルーム,グレイエリアに設置可能です。2段に重ねることも可能です(A100のみ)
可変スピードコントロール
最適な排気能力と消費電力を実現、また調整機能部品(ソフトスタート,スロットルバルブ等)が不要になります
高信頼性・高安全性
SEMI S2,CEに適合した、豊富なフィールド実績をもつ、アディクセン独自の多段ルーツ構造です
省エネ
高効率モーター採用による低消費電力化を実現
用途
- ロードロック
- 搬送チャンバー
- PVDスパッタリング
※クリーンプロセス向けの為、パージガスは流せません
仕様
| A100L | A100L ES | A200L | |
| ピーク排気速度 m3/h 50/60Hz l/min 50/60Hz | 100 1666 | 100 1666 | 200 3340 |
| 吸気口/排気口 | NW50/25 | NW50/25 | NW50/25 |
| 全体寸法（長さ×幅×高さ/mm） | 600×280×300 | 600×280×300 | 600×280×300 |
| 重量（kg） | 100 | 100 | 100 |
| 消費電力※真空到達時 | 1.6kw | <0.8kw | 0.7kw |