すべての要求の解決策となるプロダクションライン向け高性能ヘリウムリークディテクタ。比類なき排気能力が実感できます。
ASM182TD+、ASM182Tはタッチパネルタイプを選択できるようになりました。
・5×10-13Pa.m3/sの感度を誇る大きなヘリウム排気速度により超高速応答時間を実現
・大きな粗引き速度
・復帰時間が早い
・テスト結果の再現性
・簡単なメンテナンス
・堅牢な設計
・限られたフットスペースに対応するコンパクトモデルのASM182シリーズと、大きなチャンバーのリークチェックに対応するコンソールモデルのASM192シリーズをご用意
・100%ハイドロカーボンフリー
・市場でもっともクリーンなリークディテクタ
(ルーツ型ドライポンプを採用しているため、オイルフリーでパーティクルレス!)
・クリーンルーム対応
ASM182TD+ | ASM192TD+ | ASM192T2D+ | ASM182T | ASM192T | ASM192T2 | |
最小検出ヘリウムリーク量 | 5x10-13Pa.m3/s | 5x10-13Pa.m3/s | ||||
ヘリウム排気速度 (吸気口にて) |
4.4l/sec | 20l/sec | 4.4l/sec | 20l/sec | ||
標準粗引システム | 25m3/h | 20m3/h | ||||
ルーツ型 ドライポンプ+ モレキュラ ドラッグ ポンプ |
ルーツ型 ドライポンプ+ モレキュラ ドラッグ ポンプ (ドライポンプ 追加搭載可能) |
ルーツ型 ドライポンプ+ モレキュラ ドラッグ ポンプ ターボポンプ (ドライポンプ 追加搭載可能) |
ロータリー ポンプ |
ロータリー ポンプ (ロータリー ポンプ 追加搭載可能) |
ロータリー ポンプ+ ターボポンプ (ロータリー ポンプ 追加搭載可能) |
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※ヘリウム排気速度と内蔵ターボポンプの排気速度は異なるものです。 |
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内蔵機能 | 自動校正(温度補償付内部校正リークによる) | |||||
自動ゼロ機能(信号がゼロにならないように「浮動ゼロ方式を採用) | ||||||
自動信号補正(外部校正または手動調節補正機能) | ||||||
可変ピッチの音響アラーム | ||||||
音声ガイド | ||||||
故障の際の自己診断機能 | ||||||
リモートコントロールユニット(ASM182TD+、ASM182Tはオプション) | ||||||
インターフェイス | ||||||
オプション・ アクセサリー | メタルシールオプション | |||||
3マスオプション | ||||||
スニファプローブ | ||||||
専用カート | ||||||
タッチパネルディスプレイ(ASM182TD+、ASM182Tのみ) |