自動制御機器(半導体製造装置)｜製品案内｜アペックス株式会社（APPEX）

アッシングシステム、CVD、エッチング装置、自動ナンバリング露光装置など、半導体製造装置をはじめとする広範な自動制御機器開発および生産の分野でアペックスは多くのお客様のご支持をいただいてきました。「ファインメカ」、「エレクトロニクス」、「空圧制御」、｢真空｣、さらに「プラズマ」等の最新技術を積極的に取り入れ、高い精度が要求される半導体製造装置において、高品質で安定した装置技術を提供しています。

自社開発製品のみならずOEM製造も積極的に行っております。

ご提供業務内容（OEM装置製造）

・仕様のご相談（ニーズに対する総合コンサルタント可能）
・部品/ユニット選定・部品調達・部品設計・製造
・部品・ユニット
・動作確認、検査
・梱包・出荷
・現地立ち上げ調整
・アフターサービス

Main Products

■マイクロ波アッシング・エッチング装置

: 反応効率の優れたマイクロ波（2.45GHz）を用いた枚様式の高スループット・低ダメージのアッシング・エッチング装置です。1300台以上の納入実績のある8インチ以下の半導体向け装置。LED製造、パワーデバイス製造工程で実力を発揮しています。

■CVD装置

プラズマCVD：	減圧下で、反応性ガスのプラズマ放電分解によって薄膜を形成するCVD装置です。比較的低温でCVD反応が成立する特徴を持っています。
常圧CVD：	反応源として、液体ソースであるTEOSおよび酸化剤としてO3を用いてSiO2膜を形成する常圧CVD装置です。優れたステップカバレージを持っていることと、高スループットが特徴です。

■搬送ロボット

: 掴む、運ぶ、回す等の基本動作を高精度に実行するロボット類は、半導体を製造する過程で必要不可欠なユニットです。アペックスは、大気中はもとより、真空中での基板搬送をも正確に実行可能な信頼性の高い製品を開発しております。

■カスタマイズ装置

: アペックスではカスタマイズ装置の設計、製造も行なっております。
測定装置やプロセス装置、真空装置等の実績がございます。

実績例：アライメント装置（写真）
真空中での光学式アライメント装置をお客様のニーズに合わせて設計、製造いたしました。

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