自動制御機器(半導体製造装置)

グローバルな視野と最先端技術でお客様の生産システムをサポート

自動制御機器開発・生産において、アペックスの高精度・高品質の装置技術は多くのお客様の支持を頂いてきました。 機械設計、電気設計、ソフトウェア設計、プロセス技術、フィールドサービスなど多岐にわたる技術力で要求にお応えします。 ユニット単位の設計から装置の量産、設置立ち上げや休眠装置のフルオーバーホールまで、まずはご相談ください。

ご提供業務内容(製造)

  • 仕様のご相談(ニーズに対する総合コンサルタント可能)
  • 部品/ユニット選定・部品調達・部品設計・製造
  • 部品・ユニット
  • 動作確認、検査
  • 梱包・出荷
  • 現地立ち上げ調整
  • アフターサービス

製造・開発実績分野

  • 半導体製造装置(OEM新規製造)
  • 半導体製造装置(OEM中古リファビッシュ)
  • マイクロ波アッシング
  • エッチング装置
  • プラズマCVD装置
  • 常圧CVD装置
  • 薄膜抵抗測定装置
  • 真空アライメント装置
  • 光学式アライメント装置
  • CVD用薬液供給装置
  • ブラシ圧制御ユニット
  • 膜圧計
  • 実験用硫化装置
  • 微差圧計ユニット
  • 半導体装置ガスエコユニット
  • ウェーハ搬送ロボット
  • メカ設計&ソフトウェア (コントローラ)
  • 水素フラッシング装置
  • ガラス溶着機

ご提供業務内容(フィールドサービス)

  • 定期保守契約
  • メンテナンス
  • 修理
  • 校正
  • 改造
  • 再生
  • オーバーホール

サービスの詳細

PAGE TOP